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超高真空插板閥

超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向,控制執行氣缸驅動閥板作上下運動,達到閥門的開啟或關閉。超高真空插板閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。超高真空插板閥適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。超高真空插板閥帶反饋信號裝置。

超高真空插板閥主要零件材料

閥體、閥板:不銹鋼
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠

超高真空插板閥主要技術性能

適用范圍:105~1.3×10-7 Pa
閥門漏率:≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200);≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≤250)
適用溫度:30~+150℃
閥門開啟時閥板兩側的壓差:≤2.7×103Pa

超高真空插板閥外形及連接尺寸 


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