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超高真空插板阀

超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向,控制执行气缸驱动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭。超高真空插板阀门用于接通或切断真空管路中的气流。超高真空插板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。超高真空插板阀带反馈信号装置。

超高真空插板阀主要零件材料

阀体、阀板:不锈钢
密封件:氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶

超高真空插板阀主要技术性能

适用范围:105~1.3×10-7 Pa
阀门漏率:≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200);≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≤250)
适用温度:30~+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差:≤2.7×103Pa

超高真空插板阀外形及连接尺寸 


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